Nell'apparecchiatura di rivestimento sottovuoto, i componenti interni della cavità nel rivestimento funzionano per un periodo di tempo, lo strato di pellicola accumulato sulla superficie diventerà sempre più spesso, lo stress dello strato di pellicola stesso diventa maggiore e, allo stesso tempo, lì è un problema di adesione tra gli strati di pellicola depositati in momenti diversi, che porterà alla facile caduta dello strato di pellicola superficiale del componente, nel processo di rivestimento produrrà molto inquinamento sulla superficie del campione, influenzando notevolmente la resa del rivestimento . Pertanto, i componenti interni della cavità devono essere puliti regolarmente. La pulizia dell'apparecchiatura di rivestimento ha un effetto molto positivo sull'efficienza e sulla qualità della macchina di rivestimento sottovuoto e può migliorare notevolmente la stabilità di tutte le pareti e altre superfici dei componenti nel sistema sottovuoto in varie condizioni operative.
I componenti interni dell'apparecchiatura di rivestimento da pulire comprendono la parete interna della camera, la griglia della sorgente ionica, il supporto rotante e il filo riscaldante.
Metodo di pulizia tradizionale e svantaggi
1. Sabbiaturatrattamento. Poiché il film dielettrico di ossido è una deposizione di vapore ad alta temperatura con fascio di elettroni sotto vuoto, la durezza dello strato di film è elevata, il metodo di lucidatura con carta vetrata comunemente usato non è solo dispendioso in termini di tempo e lavoro, ma anche l'effetto di pulizia non è buono. Se si utilizza solo il trattamento di sabbiatura, poiché la durezza superficiale della lega di alluminio non è elevata, i granelli di sabbia saranno incorporati nella superficie del campione durante il processo di sabbiatura e non potranno essere rimossi in modo pulito, e questi granelli cadranno durante il processo di rivestimento a causa dell'elevato -velocità di rotazione dei componenti, che influirà sul tasso di resa del rivestimento.
2. Metodi di pulizia elettrochimica e elettrolucidatura e pulizia ad ultrasuoni. Non solo la necessità di smontare le parti della macchina di rivestimento consuma molto tempo ed energia, ma anche il processo di smontaggio presenta un inevitabile inquinamento e richiede il consumo di determinati materiali per la pulizia, soprattutto durante la pulizia di oggetti di grandi dimensioni, e il relativo inconveniente.
3. Pulizia laser portatile manuale. Attraverso la testina di pulizia laser portatile su ogni angolo della pulizia manuale della macchina di rivestimento, ma l'uso di questo metodo di pulizia per lungo tempo non solo consentirà all'operatore di inalare la pulizia laser dagli inquinanti e di pulire oggetti di grandi dimensioni, la messa a fuoco manuale può non essere stabile, influenzando l'effetto di pulizia e l'efficienza e l'intensità del lavoro.
Pertanto, lo sviluppo di un metodo di pulizia ragionevole, in particolare per la superficie interna del corpo della macchina di rivestimento non rimovibile, la pulizia della superficie delle parti della struttura funzionale, come ridurre l'intensità del lavoro, la pulizia più conveniente e migliorare la qualità e l'efficienza della pulizia, è stato il breve punto dolente del bordo della manutenzione quotidiana della macchina di rivestimento.
Panoramica del pulitore laser per apparecchiature di rivestimento
La macchina per la pulizia delle apparecchiature di rivestimento optoelettronico a lunghezza d'onda è stata sviluppata appositamente per il lavoro di pulizia all'interno della macchina di rivestimento, utilizzando il laser per pulire l'interno della macchina di rivestimento e dei suoi componenti. Il sistema include una testina di pulizia del rivestimento, staffa di sistema, supporto per robot, robot collaborativo, base per robot, telecamera per la visione 3D, laser a fibra pulsata, scatola di controllo, host operativo, refrigeratore d'acqua, staffa per fibra, dispositivo per la sorgente d'aria e bilancia elettrica, adatta per la pulizia multi-angolo e a tutto tondo all'interno del verniciatore, senza smontare il verniciatore, superando efficacemente i metodi esistenti di bassa efficienza, inquinamento, inadatti alla pulizia di grandi volumi e altri problemi. Supera efficacemente i problemi di bassa efficienza e inquinamento ed è inadatto alla pulizia di grandi volumi.
Vantaggi della macchina per la pulizia laser per apparecchiature di rivestimento
1. Testa di pulizia laser appositamente progettata nella macchina di rivestimento, protezione del gas integrata e pulizia ed estrazione della polvere e meccanismo di messa a fuoco fissa. Ridurre la manutenzione delle lenti per garantire un lavoro di pulizia stabile.
2. Configurazione completa dell'attrezzatura, progettazione di uno speciale sistema di controllo elettrico, robot di controllo coordinato, tracciamento automatico del raggio laser, funzionamento normale della testina di pulizia laser, configurazione del rilevamento e controllo dell'induzione corrispondente, per garantire il funzionamento sicuro del sistema. Impostare il rispettivo percorso di pulizia per le diverse aree di pulizia e stabilire la corrispondente libreria di file operativi. Realizza il controllo remoto della pulizia automatica.
3. La misurazione della distanza laser traccia automaticamente la distanza di lavoro del laser di pulizia per garantire la coerenza dell'effetto di pulizia e migliorare la qualità della pulizia.
4. Configurare i filtri di assorbimento e rimozione della polvere per garantire la protezione ambientale contro le emissioni. Progettare un involucro per isolare l'ambiente di volo della polvere, per migliorare ulteriormente la protezione e la sicurezza dell'ambiente.
5. Configurare il dispositivo di raffreddamento dell'acqua per garantire il tempo di lavoro stabile e lungo del laser.
6. Configurato con una telecamera di monitoraggio follow-me per monitorare e controllare la qualità della pulizia e creare schermate corrispondenti da salvare per la tracciabilità della qualità della pulizia.
7. Design complessivo leggero, struttura compatta, dotata di bilancia elettrica, movimento facile e flessibile.
La "pulizia intelligente" aiuta a costruire una fabbrica intelligente
Macchine per la pulizia laser delle apparecchiature di rivestimentosono senza contatto, non hanno rifornimenti, nessun inquinamento aggiunto, elevata precisione di controllo, nessun danno o piccolo danno, ecc., operazioni di pulizia automatica, sono efficienti e stabili. Il design della testina di pulizia realizza i vantaggi di una struttura leggera e integrata di protezione dal soffiaggio, aspirazione della polvere, rimozione, ecc. Il robot collaborativo 6-asse viene utilizzato per realizzare operazioni di pulizia automatica a lungo termine, evitando l'instabilità della pulizia manuale manuale all'interno della grande spalmatrice, mentre il raggio di lavoro del robot è controllabile per garantire la sicurezza del personale. Inoltre, l'uso di robot di visione 3D per il tracciamento automatico del focus di lavoro del sistema di pulizia può essere guidato e controllato per evitare collisioni automatiche, mentre la specifica regolazione della posizione iniziale tra il supporto del sistema e il verniciatore può essere guidata e monitorata al processo di lavoro in tempo reale, migliorando l'efficienza e la precisione dell'automazione della macchina per la pulizia. Aiuta a costruire un laboratorio di rivestimento intelligente e migliorare la qualità e l'efficienza.
