Come tutti sappiamo, esiste un solo produttore al mondo in grado di produrre litografia EUV, è ilASML dei Paesi Bassi.
Il motivo per cui esiste un solo produttore al mondo è che ASML ha legato insieme molti produttori chiave, come Zeiss (Zeiss), un'azienda tedesca di ottica, Cymer (USA) eTRUMPF (Germania).
ASML ha legato questi produttori al suo carro attraverso investimenti, acquisizioni, partecipazioni, creazione di centri di ricerca e così via, e questi produttori sono probabilmente gli unici produttori al mondo in grado di produrre questi prodotti, quindi alla fine solo ASML nel mondo può produrre litografia EUV.
Tuttavia, recentemente, una catena di approvvigionamento chiave di ASML, è corsa a Shenzhen, in Cina, per costruire una fabbrica, la sua filiale di Shenzhen si è stabilita nel Parco dimostrativo industriale sino-tedesco (Europa) di Baoan.
Questo produttore è il gruppo tedesco TRUMPF (TRUMPF), è la litografia EUV di ASML, l'unico fornitore di sorgenti laser al mondo.
I prodotti TRUMPF nella litografia EUV, quanto sono importanti? Per prima cosa, ascoltami spiegare il principio della litografia EUV, capirai.
Il principio della litografia EUV, per dirla semplicemente, è incentrato su tre sistemi principali, il sistema della sorgente di luce ultravioletta EUV, il sistema dello specchio obiettivo e il sistema del tavolo.
Il processo specifico consiste nell'utilizzare un laser per eccitare una lunghezza d'onda di 13,5 nm di luce ultravioletta estrema, che viene quindi corretta per formare un raggio di luce controllato, che viene quindi proiettato su un tavolo fotomaschera prima di essere proiettato attraverso uno specchio obiettivo su un tavolo di esposizione e infine inciso in un circuito su un wafer di silicio rivestito di fotoresist.
Come si ottiene uno dei sistemi di sorgenti di luce UV EUV bombardando una gocciolina metallica di stagno (Sn) con un laser CO2 da 30 kW di potenza, facendola evaporare in un plasma e ottenendo infine luce EUV a una lunghezza d'onda di 13,5 nm.
Questo laser CO2 da 30 kW è fornito da TRUMPF, l'unico al mondo.
Non sottovalutare questo laser CO2, ha 457.329 parti, la lunghezza del cavo nel sistema è fino a 7.322 metri e il peso è di 17.090 kg, che è uno dei componenti principali più importanti nella litografia EUV.
Ora TRUMPF è corso in Cina per costruire una fabbrica, l'intenzione è chiara, cioè ottimista sul mercato laser cinese, e una visione ancora più a lungo termine, ottimista sul mercato della litografia cinese, il futuro potrebbe collaborare con la Cina per costruire la litografia EUV .
In effetti, esiste già più di una catena di fornitura ASML che corre in Cina per costruire una fabbrica, ci sono KMWE e altri produttori, anche in Cina per costruire una fabbrica.
Secondo la tendenza attuale, possiamo aspettarci ottimisticamente che potrebbe non passare molto tempo prima che la tecnologia di litografia cinese sarà un grande passo avanti, e anche il volume della litografia EUV in uscita, può anche guardare avanti, pensi?
