Recentemente, l'Istituto di Microsistema e la tecnologia dell'informazione della Shanghai ha sviluppato uno specchio a riflessione rapida a rapida prestazione MEMS ad alta prestazione con sensori angolari integrati . lo specchio ha una grande dimensione, un volume di pacchetti, un'eccellente prestazione e un grande potenziale nelle comunicazioni satellitari Laser .}
Il mirror in rapida riflessione ha impiegato quasi cinque anni per sviluppare . adotta l'integrazione eterogenea a doppio strato e la tecnologia di legame a livello di wafer, e il suo volume è solo la dimensione di un 1- Yuan Coin .}}}
It overcomes the technical bottlenecks of traditional mechanical fast-reflecting mirrors and original MEMS fast-reflecting mirrors, creating a space-grade product with a pointing accuracy of μrad, meeting the ultra-high performance indicators of satellite-borne applications.
Ispirato alla schermata del telefono cellulare, il team ha utilizzato il principio di deformazione piezoresistenti al silicio per integrare i sensori angolari su chip e, attraverso l'innovazione strutturale, la sensibilità è stata aumentata del 63%, ottimizzando l'accuratezza del controllo del raggio .
I risultati del test mostrano che a una frequenza specifica, l'accuratezza dell'angolo soddisfa lo standard e la massima deformazione della superficie dinamica è solo 2 nanometri .
Il funzionario ha fatto un'analogia, che equivale a tutti gli alti e bassi su uno specchio delle dimensioni di un campo di calcio che non supera il diametro di un capelli, soddisfacendo i rigorosi requisiti delle comunicazioni laser satellitari a lunga distanza sulla superficie specchio .
