In base alle caratteristiche del materiale del substrato, alla precisione della superficie del substrato, alla rugosità superficiale e ai tipi di inquinanti particolati, gli attuali metodi di pulizia laser possono essere suddivisi nelle seguenti due categorie.
1) Metodo di lavaggio a secco laser. Il laser irradia direttamente la superficie dell'oggetto, contamina le particelle o assorbe energia sulla superficie, quindi fa uscire le particelle dalla superficie per diffusione termica, foto decomposizione e gassificazione.
2) Metodo di pulizia a umido con laser. Spruzzare un po 'di liquido non contaminato (principalmente acqua, a volte alcool) sulla superficie del materiale da pulire, quindi irradiarlo con il laser. Dopo aver assorbito l'energia del laser, il mezzo liquido produrrà vaporizzazione esplosiva e allontanerà dalla superficie del materiale le particelle di inquinamento attorno ad esso. Inoltre, è stato proposto il cosiddetto metodo di pulizia del composto laser. L'energia del laser viene assorbita dal materiale del substrato, quindi il mezzo intermedio adsorbito viene riscaldato per convezione termica e il mezzo intermedio produce vaporizzazione esplosiva. Azionate da un flusso d'aria elevato, le particelle vengono separate dalla superficie del substrato insieme al mezzo intermedio.
